光学元件垂直度测量的非接触式方法研究

光学元件的垂直度是指其表面法线与基准面的垂直度，是光学元件质量的重要指标之一。而非接触式的测量方法可以避免因接触导致的误差，提高测量的准确性和可靠性。下面将介绍几种常见的非接触式光学元件垂直度测量方法。

白光干涉法

白光干涉法是一种常见的非接触式光学元件垂直度测量方法。通过不同波长的白光照射到光学元件表面上，形成干涉条纹，利用干涉条纹的位移来计算出光学元件表面的倾斜角，进而得到垂直度信息。这种方法测量精度高，适用于不同类型的光学元件。

激光干涉法

激光干涉法利用激光的相干性和方向性进行测量，可以实现对光学元件垂直度的高精度测量。通过干涉条纹的移动和变化来计算出光学元件的倾斜角和垂直度信息。激光干涉法测量精度高，适用于对称、非对称等不同类型的光学元件。

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